24小时服务热线:

13122826337

您所在的位置:

He质谱检漏仪在半导体真空系统的使用

2019-12-08

半导体设备真空系统出现故障一般分为两类:一是真空泵机组及测量系统的故障,另一个是真空系统的泄漏。对于一类故障,检测真空泵的极限真空度或更换好的真空计就可以确认。对于二类故障则需要检漏。

在对半导体设备检漏时常使用两种方法:静压检漏法和He质谱检漏法。静压检漏法就是用阀门将真空室与真空泵组隔开,测量其内部压强的变化。质谱检漏法要复杂一些。

He质谱检漏仪一般需要拿到现场去,检漏仪内有分子泵,因此搬运时要轻拿轻放。常常选择检漏仪高灵敏度方式来检漏,这有利于保护分子泵。检漏仪的抽气能力有限,因此常常需要设备自己抽好真空。真空抽到0.5~10Pa就行。等到漏率显示稳定或由稳定转成减少后再开始检漏。在检漏过程中如果需要对门阀、粗抽阀、放气阀等进行操作,则必需先让检漏仪停止检漏并选择检漏口不放气,避免真空室突然进入大量气体而损坏检漏仪。

真空抽到后应该关上门阀和粗抽阀,以免分流导致真空漏率测量值小于实际值。更好停掉设备上的分子泵和机械泵,从而避免它们的干扰;有冷泵的设备要想检漏彻底应该停掉冷泵。用真空法检测双密封结构产品漏率时,常有漏率缓慢升高的现象发生,因此在检漏过程中要注意这一点,另外,要求He袋不漏气,一般要求喷出的He流量少,这样有利于确认漏点位置,但是也有特殊情况,需要在某些He不易到达的地方喷出较多He,以避免漏检。检漏时加装的波纹管不能检漏,发现漏点后要进行二次确认,漏点维修后要再进行检漏确认。

半导体设备真空部分有许多部件,如果一个部件漏率较大,很容易导致高真空抽不上去。半导体设备的真空疑难故障大多是微漏导致高真空抽不上。真空检漏的难点是要重视操作的细节部分,要有耐心。此外,选择国产高真空计时要留有余地,否则将无法显示期望的高真空度。

发布于

02-20

如何使空压机长期安全地运行?做好维护保养工作保持完好的状态

如何使空压机长期安全地运行呢?除了深入了解其工作原理,及时处理机械故障外,还需要认真做好维护保养工作,使空压机保持完好的状态。 一、新机尚处于磨合期,故在运行500小时后或油质变化较大时(油变色明显),须...

发布于

09-11

什么是空压机的功率?

什么是空压机的功率?空压机的功率是指所匹配的驱动电机或柴油机的铭牌功率。功率的单位为:KW或HP。其换算方式为:1KW ≈ 1.333HP。 ① 一般性,空压机的功率是指所匹配的驱动电机或柴油机的铭牌功率; ② 功率的单...

发布于

09-09

空压机功率、压力、容积流量三者之间的关系

空压机功率、压力、容积流量三者之间的关系:在功率不变的情况下,当转速发生变化时,容积流量和工作压力也相应发生变化;例如:一台22KW的空压机,在制造时确定工作压力为7bar,根据压缩机主机技术曲线计算转速...

发布于

10-07

螺杆空压机油分芯烧毁的原因主要有哪些?预防空压机油分芯烧毁的措施

油分芯是螺杆式空压机重要的配件之一,是把油和气分离开,让油回到空压机内部循环,让气排出供给用户使用。同时,油分芯也是易损的耗材,到期后就需要及时更换。在使用过程中,会遇到不同的故障问题,油分芯烧毁...

发布于

01-30

无锡空压机概述压缩热再生吸附式干燥机

加热再生干燥机的再生能耗具有两种形态,种是使吸附剂达到解吸温度和水分汽化所需要的热能,第二种是作热量载体和冷却介质的气体。在鼓风式加热再生干燥机里,由于使用了环境空气作为热能载体,压缩空气仅用来冷...

发布于

09-13

为什么要对压缩空气进行净化处理

为什么要对压缩空气进行净化处理?与液压系统对液压油的洁净程度有较高要求一样,气动系统对压缩空气也有较高的要求。 由空气压缩机排出的空气不能直接被气动装置使用。空气压缩机从大气中吸入含有水分和灰尘的...

发布于

01-03

真空机组真空度低而跳闸的原因分析

引起汽轮机真空度急剧下降的原因有:循环水中断或减少;凝汽器汽侧满水;凝汽器空气抽出设备故降及其真空机组系统漏气。 事故原因排查 1、循环水中断或水量减少引起真空度急剧下降真空度急剧下降的同时,循环水进水...

发布于

08-23

无锡空压机解说什么是空压机PLC?

空压机PLC的定义有许多种。国际电工委员会(IEC)对 PLC 的定义是:可编程控制器是一种数字运算操作的电子系统,专为在工业环境下应用而设计。它采用可编程序的存贮器,用来在其内部存贮执行逻辑运算、顺序控制...

发布于

12-15

闪蒸干燥机的工作原理

干燥机由于其自身优越的性能在工业中得到了广泛的使用,那么对于干燥机中的闪蒸干燥机而言,它的工作原理是什么呢?使用闪蒸干燥机优点有哪些?下面无锡空压机小编来告诉你吧! 闪蒸干燥机的各部分结构及运行原...

发布于

04-05

无锡索康压缩机设备有限公司怎么样?

无锡索康压缩机设备有限公司怎么样?无锡索康压缩机设备有限公司成立于2011年05月13日,注册地位于无锡市新吴区金城东路299号五洲国际工业博览城81栋110号,法人代表为秦赵。经营范围包括压缩机销售、安装、维修...

发布于

01-21

离心式空气压缩机维修保养需注意哪些事项?离心空压机日常保养维护

离心式空气压缩机在化工业中的应用范围更广,这类设备不仅为本身气体压力能调控提供了保障,更是为压缩机连接设备提供了足够的气体压力能,进而带动机械传动系统的高效率运转。鉴于化工行业机械设备运转荷载的不...

发布于

01-19

微热式吸干机目前面临的问题

1. 能耗大 一般在 10%-15%左右,实测任何品牌没有低于 10%气损,浪费巨大。如果选用53m³/min 的机器,再生气耗更少为 5.3m³/min,一年的再生气耗浪费为 2,544,000m³/年(按8000 小时计算)。一台微...

发布于

07-30

螺杆空压机使用时应该注意哪些事项

螺杆式空压机日常使用注意事项和空气压缩机维修保养前的准备工作,我们应该怎样保养空压机、怎样维护空压机、螺杆空压机维保有哪些? 一、要认识润滑油的重要性,需定期换油 空压机专用油是半合成油,其使用寿命...

发布于

12-19

两级压缩空压机介绍

单级空气压缩机与两级空气压缩机有什么区别?单纯从能耗角度看的话,两级压缩空压机能源使用率更高,所以目前市场上双级压缩机的使用率普遍更高。 什么是双级压缩? 其压缩过程为自然空气通过空气过滤器进入级压...

发布于

06-12

回转式空气压缩机油有哪几种?分为轻、中、重负荷三种

回转式空气压缩机油有哪几种?回转式空气压缩机油按轻、中、重负荷也分为三种,即轻负荷的L-DAG、中负荷的L-DAH,重负荷的L-DAJ,粘度等级均设15、22、32、46、68、100六个牌号,其中DAG、DAH属矿油型,DAJ为...

发布于

09-16

无锡螺杆空压机浅谈影响空压机电耗的因素

影响空压机电耗的因素较多,以下无锡螺杆空压机就为大家浅谈五个因素:环境温度、进气压力、工作效率、等温效率、排气压力。 受环境温度影响,外界温度越低电能消耗则越低,温度越高则电能消耗则越高。环境温度一...

发布于

09-10

空压机余热回收让节能来的更快些

空压机余热回收让节能来的更快些,现在很多企业都选择空压机余热回收装置,因为空压机余热回收在一定程度上是很节能的。空压机余热回收是指一款新型高效的余热利用设备,靠吸收空压机废热来把冷水加热的,没有能...

发布于

11-30

哪些因素决定煤气冷干机等的负荷高低

根据冷干机的运输介质不同,冷干机可以分为很多种类,常见的有煤气冷干机和沼气冷干机、天然气冷干机等。冷干机运行的时候,有很多参数需要顾及到,比如说负荷高低问题。负荷过高会直接影响到冷干机的寿命,甚至...

发布于

12-26

无热吸干机的设计特点如何体现?

无热吸干机因为结构简单,运行稳定,虽然气耗很大,但是在很多环境下还是使用很广泛的。那么无热吸干机的设计需要注意哪些事项呢? 首先,我们还是要了解无热吸干机原理,其实有一个更的叫法:PSA,变压吸附,就是...

发布于

03-13

压滤机与传统的过滤机相比具有哪些改进?

对于压滤机大的进步就是设备的工作处理量,少提升了十倍。传统的过滤机都是采用的一台设备,一张滤布、小过滤面积的过滤方式,而压滤机确实采用的一台设备,采用多张滤布,大过滤面积,将多个过滤腔集中在了同一...

13122826337