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半导体行业中真空泵机组的组合

2019-12-13

在半导体行业中都是采用罗茨真空泵与干泵组成的真空机组,一方面可以减少干泵的尺寸,另一方面可以在中真空范围内获得较大的抽速。由于罗茨真空泵的轴承和同步齿轮都需要润滑,这润滑油会对真空工艺造成污染。解决的办法是在齿轮箱的端盖上外接一段真空管路,并用另一台辅助真空泵将齿轮箱内的压力抽到低于罗茨泵的入口压力,见图1所示。

这样,在这个压力梯度下,齿轮箱内油蒸汽就不会通过迷宫式轴封而进入泵腔造成污染。另外当罗茨真空泵抽除有害气体时,要求电机传动轴的密封不能泄漏,因而出现了屏蔽电机罗茨泵,确实做到了零泄漏。

1.辅助泵抽气管 2.油分离器 3.齿轮 4.轴承 5.活塞环 6.转子 7.屏蔽外壳 8.风扇 9.驱动轴 10.回油管

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03-22

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