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半导体行业中真空泵机组的组合

2019-12-13

在半导体行业中都是采用罗茨真空泵与干泵组成的真空机组,一方面可以减少干泵的尺寸,另一方面可以在中真空范围内获得较大的抽速。由于罗茨真空泵的轴承和同步齿轮都需要润滑,这润滑油会对真空工艺造成污染。解决的办法是在齿轮箱的端盖上外接一段真空管路,并用另一台辅助真空泵将齿轮箱内的压力抽到低于罗茨泵的入口压力,见图1所示。

这样,在这个压力梯度下,齿轮箱内油蒸汽就不会通过迷宫式轴封而进入泵腔造成污染。另外当罗茨真空泵抽除有害气体时,要求电机传动轴的密封不能泄漏,因而出现了屏蔽电机罗茨泵,确实做到了零泄漏。

1.辅助泵抽气管 2.油分离器 3.齿轮 4.轴承 5.活塞环 6.转子 7.屏蔽外壳 8.风扇 9.驱动轴 10.回油管

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01-15

变频技术在空压机设备上的应用 空压机变频改造方案

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05-04

螺杆式空压机排气压力过低怎么回事

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01-01

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05-09

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07-03

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10-03

无锡空压机教你如何选择螺杆空压机合适?

众所周知,螺杆空压机品牌有很多,同一品牌下也有很多不同型号,不同的空压机价格也不一样,那么螺杆空压机如何选择合适呢?一起来跟无锡空压机小编分析一下: 螺杆空压机工作压力(排气压力)的选型: 当用户准备...

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05-03

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按吸附剂再生方式来分类:吸干机有两种 主要可分为无热再生吸干机和有热再生吸干机两种。由于无热吸干机是按等温吸附工作,又称变压吸附有热吸附 式干燥机是按等压吸附工作,又称变温吸附。 在实际使用中还有一种...

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